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根据国内外氟化工行业多年实践经验，只要焚烧反应温度控制在一定范围，有机氟、氯烃就可以有效的热裂解，分解率可达 99.9%以上。另外经研究证明，只要热解温度达一定点以上，且保证氟或氯、氢平衡所需的 H 离子，则有机氟、氯烃的分解率可以达到 99.9%以上，而且焚烧尾气中 CF4 含量远小于 0.5%，焚烧过程不产生八氟异丁烯等剧毒物质。行业界已认可高温焚烧是处理含氟含氯废液或废气的可行可靠的方法。后续通过冷却、吸收和洗涤等工艺过程使尾气排放符合环保要求，并可回收一定浓度的副产品，同时把焚烧过程中产生的热量回收，产生饱和蒸汽以供工厂利用。
主要由 3 个单元组成：（1）含氟含氯废液、废气的焚烧和余热回收系统；（2）烟气的净化吸收系统；（3）副产品的回收系统。